清淨室衰退之原因

 

    

1.HEPA破損

A

依規定按時檢查

2.HEPA框未密合

A

依規定按時檢查

3.HEPA墊襯劣化

A

依規定按時檢查

4.過濾網太髒

C.D

各級濾網未依規定更換

5.風門受阻

C.D

調整開關因振動而鬆動

6.回風口受阻

C.D

調整開關鬆動或受室內設備阻擋

7.風管漏氣

A

停止送風時微粒子可能滲入風管內,從送風口滲入室內

8.風扇皮帶鬆弛 (斷裂)

C.D

定期檢查磨損程度

9.天花板壁面材剝落

B

檢討室內是否有腐蝕性氣體

10.;天花板縫未密封

A

密封之,必要時使天花板內維持負壓

11.設備擺置不當

C.D

阻礙氣流,單向流尤為嚴重

12.製程更改

B.C

討論改善

13.隔間異動

C.D

室壓及風量未隨之調整

14.生產設備未強制排氣

D

排氣管受阻或吸氣罩效率不佳而擴散

15.輸送帶口滲入

A

直通非管制區,宜加大室壓差或增設緩衝區

16.開門太久

A

氣鎖室門不密合,造成室壓差不當

17.外氣量不足

C.D

外氣過濾網髒或外氣風門受阻

18.衣著不當

A.B

人為過失

19.進料污染

A

人為過失

20.供應氣體及藥劑污染

A

人為過失

21.未做妥清潔維護

C.D

人為過失

註:  A:不帶入     B:不產生     C:不滯留      D:速排除

 

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